Aliuminio nitrido (AlN) keraminis elektrostatinis griebtuvas

1.Privalumai

• Labai gryna AlN keramika, kurios šilumos laidumas iki ~180 W/m·K užtikrina efektyvų šilumos perdavimą ir temperatūros vienodumą

• Stipri elektros izoliacija ir didelė savitoji varža, palaikanti stabilų suspaudimą esant 1–3 kV (galima aukštesnė įtampa)

• Individualizuotos dielektrinio sluoksnio medžiagos ir elektrodų išdėstymai: Coulomb arba Johnsen-Rahbek (JR); vienos arba kelių zonų

• Greitas suspaudimo ir atspaudimo veikimas, paprastai mažiau nei 0,1 sekundės

• Paviršiaus įdubusios mikrostruktūros iki ~300 μm skersmens, sumažindamos kontaktinį plotą iki ~1%

• Didelė plokštumo galimybė; tipiškas pasaulinis lygumas 0,5–3 μm PV 300 mm klasės platformoms

• Tanki mikrostruktūra, beveik nulinė vandens absorbcija ir geras cheminis atsparumas proceso aplinkai

2.Tipinės programos

Aliuminio nitrido keraminiai elektrostatiniai griebtuvai naudojami proceso etapuose, kuriems reikalingas saugus plokštelės laikymas ir kontroliuojamas šiluminis elgesys:

• Sausas plazminis ėsdinimas (ICP / RIE) ir susiję kameros procesai

• CVD, PEALD, terminio ALD ir kiti plonasluoksnio nusodinimo etapai

• Atkaitinimo ir terminio proceso moduliai, kuriems reikalinga vienoda plokštelių temperatūra

• Patikrinimo, metrologijos ir tikslumo etapai, kai labai svarbu mažai dalelių ir stabilus suspaudimas

3.AlN medžiagų klasės – tipinės savybės

„VeTek“ siūlo keletą aliuminio nitrido rūšių, kad subalansuotų šilumos laidumą, mechaninį stiprumą ir ESC konstrukcijų kainą:

Vienetai: šilumos laidumas W/(m·K); dielektrinis stipris kV/mm; tūrinė varža Ω·cm (25 °C); dielektrinė konstanta esant 1 MHz. Vertės yra tipinės ir gali skirtis priklausomai nuo proceso ir dalies geometrijos.

4.Tipiški ESC projektavimo parametrai

5.Kodėl Choose VeTek AlN elektrostatiniai griebtuvai?

„VeTek Semiconductor“ integruoja pažangią AlN keramiką su tikslia ESC gamyba puslaidininkių klientams, kuriems reikia tiek šiluminių savybių, tiek patikimo tvirtinimo:

• Kelios AlN klasės, kurių šilumos laidumas nuo ~90 iki ~180 W/m·K, kad atitiktų proceso šiluminį biudžetą

• Lankstus elektrodas ir dielektrinė konstrukcija, skirta Kulonui arba JR užspaudimui

• Griežta plokštumo, paviršiaus mikrostruktūros ir elektros izoliacijos kontrolė

• Viso gyvavimo ciklo palaikymas: projektavimas, nauja konstrukcija ir kelių lygių atnaujinimas

Dėl ėsdinimo, nusodinimo ir terminių įrankių, kurie priklauso nuo vienodos plokštelės temperatūros ir švaraus, pakartojamo suspaudimo, „VeTek“ aliuminio nitrido keramikos elektrostatiniai griebtuvai yra aukštos kokybės keramikos platforma, paremta į taikymą orientuota inžinerine pagalba.