Pasirinkimo vadovas

Pasirinkus tinkamą CVD SiC, TaC dangą arba kietą SiC, epitaksijos / ėsdinimo linijose tiesiogiai nustatomas dalelių lygis ir komponento naudojimo laikas. Šiame straipsnyje pateikiamos aiškios pasirinkimo ribos pagal temperatūrą, atmosferą ir procesą, suderintos su pagrindiniais įrangos keitimo sprendimais ir pagrindine metrika, kad būtų lengviau priimti greitus sprendimus ir sumažinti riziką.