CVD SIC dangos žiedas

Pusmėnulio dalyse yra daug mažų dalių, o SIC dangos žiedas yra vienas iš jų.CVD SIC dangaAukšto grynumo grafito žiedo paviršiuje CVD metodu galime gauti CVD SiC dangos žiedą. SiC dangos žiedas su SiC danga pasižymi puikiomis savybėmis, tokiomis kaip atsparumas aukštai temperatūrai, puikios mechaninės savybės, cheminis stabilumas, geras šilumos laidumas, gera elektrinė izoliacija ir puikus atsparumas oksidacijai.laidotojasdirbti kartu.

SiC dangos žiedas ir bendradarbiavimaslaidotojas

CVD SIC dangos žiedo funkcijos:

  ●   Srauto paskirstymas: SiC dangos žiedo geometrinė konstrukcija padeda suformuoti vienodą dujų srauto lauką, kad reakcijos dujos galėtų tolygiai padengti pagrindo paviršių ir užtikrinti tolygų epitaksinį augimą.

  ●  Šilumos mainų ir temperatūros vienodumas: CVD SIC dangos žiedas suteikia gerą šilumos mainų našumą, taip palaikant vienodą CVD SIC dangos žiedo ir substrato temperatūrą. Tai gali išvengti kristalų defektų, kuriuos sukelia temperatūros svyravimai.

  ●  Sąsajos blokavimas: CVD SIC dangos žiedas tam tikru mastu gali apriboti reagentų difuziją, kad jie reaguotų tam tikroje srityje, taip skatindami aukštos kokybės SiC kristalų augimą.

  ●  Palaikymo funkcija: CVD SIC dangos žiedas sujungiamas su žemiau esančiu disku, kad sudarytų stabilią struktūrą, kad būtų išvengta aukštos temperatūros ir reakcijos aplinkos deformacijos, ir palaikyti bendrą reakcijos kameros stabilumą.

„VeTek Semiconductor“ visada yra įsipareigojusi teikti klientams aukštos kokybės CVD SiC dangos žiedus ir padėti klientams užbaigti sprendimus konkurencingiausiomis kainomis. Nesvarbu, kokio CVD SiC dangos žiedo jums reikia, nedvejodami kreipkitės į „VeTek Semiconductor“!

CVD SIC plėvelės kristalų struktūros SEM duomenys ：

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės: