Produktai
Silicio karbido roboto ranka
  • Silicio karbido roboto rankaSilicio karbido roboto ranka
  • Silicio karbido roboto rankaSilicio karbido roboto ranka

Silicio karbido roboto ranka

Mūsų silicio karbido (sic) robotinė ranka yra skirta aukšto našumo vaflių tvarkymui pažengusioje puslaidininkių gamyboje. Pagaminta iš didelio grynumo silicio karbido, ši robotinė ranka suteikia išskirtinį atsparumą aukštai temperatūrai, korozijai plazmoje ir cheminį priepuolį, užtikrinant patikimą veikimą reikalaujančioje švarios kambario aplinkoje. Išskirtinis mechaninis stiprumas ir matmenų stabilumas leidžia tiksliai valdyti vaflius, tuo pačiu sumažinant užteršimo riziką, todėl tai yra idealus pasirinkimas MOCVD, epitaksijai, jonų implantacijai ir kitoms kritinėms vaflių tvarkymo programoms. Mes laukiame jūsų užklausų.

„Veteksemicon“ silicio karbido robotinė rankena yra aukščiausios klasės puslaidininkių apdorojimo sprendimas, skirtas specialiai atšiaurioms pramoninėms aplinkoms. Naudojant pažangias didelio grynumo silicio karbido medžiagų technologijas, jis parodo išskirtinį stabilumą ir ilgaamžiškumą aukštoje temperatūroje, ėsdinančioje aplinkoje ir ypač aukštos vakuuminės sąlygos. Kaip pagrindinis vaflių tvarkymo, ėsdinimo ir nusodinimo procesų komponentas, mūsų robotinė ranka žymiai pagerina produktyvumą ir sumažina priežiūros sąnaudas.


Ⅰ. Techniniai parametrai


Projektas
Parametras
Medžiaga
Aukšto grynumo sic
Paviršiaus kietumas
2800-3200 HV
Apkrovos talpa
3 kg/5 kg/10 kg (galimos įvairios specifikacijos)
Šilumos laidumas
Šilumos laidumas
Atsparumas
10^3-10^5 ω; cm
Taikoma aplinka
Aukšta temperatūra, plazma, ėsdinančios dujos, ypač aukštas vakuumas
Pakartokite padėties nustatymo tikslumą
± 0,02 mm

Ⅱ. „Veteksemicon“ silicio karbido roboto rankos šerdies pranašumai


1. Ekstremali aplinkos tolerancija

Mūsų roboto rankenėlėje naudojama unikaliai suformuluota SiC danga, kuriai keliami keli temperatūros nusėdimo procesai, leidžiantys jai išlaikyti struktūrinį vientisumą esant nuolatinei 1500 ° C temperatūrai ir efektyviai atsispirti korozijai iš plazmos bombardavimo ir stiprios rūgšties bei šarminės aplinkos. Tai iš esmės aptaria tradicinių medžiagų, linkusių į senėjimą, skausmo taškus ir turi trumpą gyvenimo trukmę ekstremaliomis darbo sąlygomis.


2. Puikios mechaninės savybės

Priimdami kompozicinę grafito substrato ir SiC dangos struktūrą, mes pasiekėme tvirtumą, žymiai didesnį nei metalinių medžiagų, užtikrindami, kad ranka būtų ypač lengva. Ši konstrukcija užtikrina, kad roboto rankos deformacija yra labai maža, kai greitaeigis pradinis judėjimas yra labai maža, efektyviai slopindama virpėjimą, taip tvirtai kontroliuojant pakartotinio padėties tikslumą ± 0,02 mm, užtikrinant saugų tikslumo greitį.


3. Itin aukštas švara

Mes suprantame, kad kietųjų dalelių užterštumas yra svarbiausias išeigos žudikas. Todėl kiekviena roboto rankena atliekama tiksliai poliravimo ir specializuoto paviršiaus apdorojimo, todėl paviršiaus šiurkštumas RA yra mažesnis nei 0,1 μm. Danga tvirtai prilimpa, užkertant kelią lupimo rizikai. Mūsų produktai yra 100% patikrinta švara, visiškai atitinka ypač aukšto švaraus kambario reikalavimus ir paruošti naudoti moderniausios gamybos linijose.


4. Ilgas tarnavimo gyvenimas

Dėl SIC būdingo 3000 HV kietumo ir puikaus atsparumo dėvėjimui, mūsų robotų ginklų ginklų blogėjimas patiria minimalų veikimo skaidymą net po dešimčių tūkstančių judesių ciklų. Jų tarnavimo laikas yra kelis kartus didesnis nei įprastų keraminių ar aliuminio lydinių komponentų, žymiai sumažinant pakeitimo ir priežiūros prastovos prastovą, suteikdamas reikšmingą bendrą mūsų klientų ekonomiškumą.


Ⅲ. Pagrindiniai taikymo laukai


Taikymo kryptis
Tipiškas scenarijus
SEmiklaidininkių gamyba
Vaflių tvarkymas, perkėlimas ir padėties nustatymas
LED gamyba
MOCVD reakcijos kameros komponentai
Fotoelektros pramonė
PECVD, difuzijos procesas
Aviacijos ir kosmoso
Automatizuotas apdorojimas aukštos temperatūros bandymo aplinkose

„Veteksemicon“ silicio karbido roboto ARM ekologinės grandinės patikrinimas apima žaliavas į gamybą, ji priėmė tarptautinį standartinį sertifikatą ir turi daugybę patentuotų technologijų, kad būtų užtikrintas jos patikimumas ir tvarumas puslaidininkių ir naujų energetikos srityse. Sveiki atvykę į mus bet kuriuo metu.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: Silicio karbido roboto ranka
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept