CVD SiC dangos grafito dalių valymo paslauga

1. Iššūkiai, su kuriais galite susidurti

• AlN sluoksnį sunku pašalinti:1300°C terminis valymas vis tiek negali veiksmingai išėsdinti likusio AlN sluoksnio.

• Pasikartojančios atminties efektas:Paviršiaus atminties efektas sukelia nestabilų dujų srautą reaktoriuje, paveikdamas proceso nuoseklumą.

• Valymo ciklas Impacts pralaidumas:Paprastai kas 16 proceso ciklų (4–5 susceptoriai) reikia išvalyti iš išorės.

• Susirūpinimas dėl brangios dangos pažeidimo:Trūkstant vidinio cheminio valymo patirties, operatoriai nesiryžta imtis agresyvaus valymo.

2. Mūsų sprendimas – sukurtas GaN / AlN / AlGaN procesams

• Profesionalus valymas:Individualizuotas procesas, specialiai sukurtas CVD SiC dengtoms grafito dalims. Iš kliento nereikia cheminės formulės.

• Dangos sauga:Griežtai apsaugo 100 µm CVD SiC dangą. Visiškai nulinis storio praradimas po valymo.

• Tikrinami rezultatai:Visas analizės sertifikatas (COA), apimantis penkis pagrindinius matmenis. Duomenys paruošti archyvavimui ir kokybės auditui.

3. Penki pagrindiniai priėmimo kriterijai

Griežtai suderinta su kritiniais puslaidininkių epitaksijos naudotojų reikalavimais:

1. Nulinis dangos praradimas– SiC dangos storis po valymo niekada nesumažėja (storio palyginimo patikrinimas prieš ir po jo).

2. Nėra paviršiaus deformacijos– Plokštumas ir geometrinis tikslumas yra griežtai tikrinami, kad nebūtų fizinės deformacijos.

3. Pašalinkite atminties efektą– Al/Ga likučio XPS analizė patvirtina kruopštų atminties efekto šaltinių pašalinimą.

4. Nulis metalo likučių– ICP-MS bandymas Fe, Cu, Ni ir kitiems metalams patvirtina, kad nėra likutinių metalinių priemaišų.

5. Nėra perteklinių dalelių– QIII dalelių testas ir švaros patikra apsaugo nuo dujų srauto nestabilumo dėl likusių dalelių.

4. Pristatymo patikrinimo ir COA ataskaita

Kiekviena partija pristatoma su visais penkių pagrindinių matmenų patvirtinimo duomenimis:

5. Taikomi produktai ir procesas

Produkto parametrai

Aptarnavimo procesas

1. Užklausa– Siųsti dalių nuotraukas / modelį / kiekį vertinimui.

2. Citata– Techninis įvertinimas ir detalus valymo pasiūlymas su citata.

3. Siuntimas– Atsiųskite mums dalis arba susitarkite dėl atsiėmimo.

4. Valymas– Profesionalus valymas + pilna kelių matmenų patikra.

5. Pranešimas– išduotas COA aktas ir grąžintos išvalytos dalys.

6. Tolesni veiksmai– Efekto stebėjimas ir nuolatinė techninė pagalba.

6. Kodėl verta rinktis VETEK valymo paslaugą?

VETEK sujungia gilias CVD SiC dangos technologijos žinias su specializuotomis didelės vertės grafito susceptorių valymo galimybėmis. Suprantame dangos vientisumo, dalelių kontrolės ir proceso grynumo svarbą GaN/AlN epitaksijoje. Mūsų paslauga skirta klientams, kuriems reikalinga absoliuti brangių CVD SiC dangų sauga, kartu visiškai išsprendžiant atminties efekto ir dujų srauto nestabilumo problemas.

· Galimas bandomasis valymas, kad būtų galima patikrinti mažą partiją

· Visa COA ataskaita pateikiama su kiekvienu pristatymu

· Nulinė dangos pažeidimo ar naujo užteršimo rizika

· Profesionalus · Saugus · Patikrinamas