Vertikalus krosnies SiC dengtas žiedas

Vertikaliose krosnysPuslaidininkių plokštelės. Vertikalūs krosnies SiC padengti žiedai yra didelio našumo, aukštai temperatūrai atsparūs komponentai, naudojami plokštelėms palaikyti arba apsaugoti, kad būtų užtikrintas proceso stabilumas ir patikimumas.

Vertikalios krosnies, dengto žiedo, funkcijos

● Funkcijos

Palaikantis vaidmuo. Naudojamas vafliams palaikyti, siekiant užtikrinti jų stabilumą ir tikslią padėtį aukštos temperatūros krosnyse.

●  Apsauga nuo korozijos

Saugokite, kad ėsdinančios dujos ar cheminės medžiagos nesugadintų pagrindinės medžiagos.

●  Sumažinti taršą

Didelio grynumo SIC danga gali efektyviai užkirsti kelią dalelių praliejimui ir priemaišų užterštumui, kad būtų užtikrintas švara.

●  Atsparumas aukštai temperatūrai

Išlaikyti puikias mechanines savybes ir matmenų stabilumą aukštoje temperatūroje (dažniausiai virš 1000°C).

Vertikalios krosnies SiC dengto žiedo savybės

●  Aukštas kietumas ir jėga

SiC medžiagos turi puikų mechaninį stiprumą ir gali atlaikyti aukštos temperatūros stresą krosnyje.

●  Geras terminis stabilumas

Didelis SiC šilumos laidumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas padeda sumažinti šiluminį įtampą.

●  Stiprus cheminis stabilumas

SiC dangos gali atsispirti korozijai oksiduojančioje, rūgštinėje ar šarminėje aplinkoje.

●  Mažas užterštumas dalelėmis

Lygus paviršius sumažina dalelių susidarymo galimybę, kuri ypač tinka ypač švariai puslaidininkių gamybos aplinkai.

Naudojamas difuzijos, oksidacijos, atkaitinimo ir kitiems procesams vertikaliose krosnyse, siekiant palaikyti silicio plokšteles ir išvengti dalelių užteršimo terminio apdorojimo metu.

Gamybos medžiagos ir procesai

●  Pagrindas: pagamintas iš aukštos kokybės SGL grafito, todėl kokybė garantuojama.

● Danga: Silicio karbido danga dengia grafito paviršiui cheminio garų nusėdimui (CVD).

●  Dangos storis paprastai yra nuo 50 iki 500 μm, kuris koreguojamas pagal naudojimo reikalavimus.

●  Cheminio garų nusodinimo SiC dangos grynumas, tankis ir ilgaamžiškumas didesnis.

Pasirinkite tinkamąSiC dangažiedas pagal krosnyje esančios silicio plokštelės skersmenį ir laikiklio specifikacijas. Galime pritaikyti jums. Didelio grynumo, tanki danga yra patvaresnė ir mažiau teršianti. Reguliariai keiskite pagal naudojimo dažnumą ir proceso reikalavimus, kad išvengtumėte užteršimo arba atramos gedimo dėl dangos senėjimo.

Kaip profesionalus vertikalios krosnies SiC dengto žiedo tiekėjas ir gamintojas Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ jau seniai įsipareigojo teikti pažangias vertikalios krosnies technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

CVD SIC PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪRA

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės

Tai puslaidininkisVertikalios krosnies SiC padengtos žiedų parduotuvės: