Aixtron G10 Solid SiC planetinio reaktoriaus komponentai

1. Pagrindinės savybės ir pranašumai

• Visiškai tanki, be rišamųjų medžiagų Kieto SiC struktūra užtikrina puikų atsparumą dilimui ir korozijai

• Puikus šilumos laidumas ir atsparumas šiluminiam smūgiui aukštesnėje nei 1500 °C temperatūroje

• Itin mažas dalelių susidarymas ir didelis grynumas, sumažinantis užteršimo riziką

• Išskirtinis cheminis inertiškumas prieš proceso dujas, naudojamas SiC epitaksijoje

• Ilgas tarnavimo laikas, kai pakartotinai veikia aukštoje temperatūroje

• Tiksliai apdirbtas iki griežtų matmenų nuokrypių, užtikrinančių patikimą pritaikymą ir proceso stabilumą

 2. Tipinės programos

Šie kietojo SiC priedai naudojami pagrindinėse Aixtron G10 reaktoriaus funkcinėse srityse, įskaitant:

• Dengimo plokštės ir pasirinkti dangtelio elementai

• Apsauginiai žiedai ir labai susidėvintys komponentai

• Tikslūs kaiščiai, poveržlės ir smulkios konstrukcinės dalys

• Kiti pasirinktiniai didelio grynumo įdėklai, veikiami intensyvaus dujų srauto arba šiluminės apkrovos

Jie palaiko stabilų temperatūros pasiskirstymą, vienodą dujų tiekimą ir mažą defektų tankį didelio tūrio SiC epitaksinio augimo metu galios MOSFET, diodų ir susijusių plačiajuosčio ryšio įrenginių.

3. Kodėl verta rinktis „VeTek Solid SiC“, skirtą „Aixtron G10“?

Kaip specializuotas puslaidininkinių medžiagų gamintojas, VeTek Semiconductor teikia:

• Didelio grynumo kieto SiC komponentai, pritaikyti Aixtron G10 sistemoms, pvz.: dangtelio žiedas, vidinis/išorinis dangtelis, nuleidžiamas / atraminė plokštė, palydovinis diskas, susceptorius

• Griežta grynumo kontrolė ir tikslus CNC apdirbimas

• Papildomi sprendimai, įskaitant CVD SiC dengtą grafitą ir TaC dengtas dalis, užtikrinančias visišką šiluminio lauko aprėptį

• Individualios konstrukcijos, pritaikytos konkrečioms proceso sąlygoms ir reaktoriaus konfigūracijoms

Mūsų kietojo SiC priedai padeda klientams maksimaliai išnaudoti Aixtron G10 platformos našumo pranašumus – didelę plokštelių našumą, puikų storį ir dopingo vienodumą bei konkurencingas nuosavybės kainas – kartu prailgina komponentų tarnavimo laiką ir sumažina su dalelėmis susijusį derliaus praradimą.