AMAT Cover Top Quartz 8 colių PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 colių PCII (dalis Nr. 0200-00218) yra didelio grynumo kvarco komponentas, skirtas naudoti 200 mm (8 colių) PVD proceso kamerose, ypač suderinamas su Applied Materials Endura® platforma (PCII kamera).

Pagaminta iš ypač didelio grynumo lydyto kvarco, šis komponentas atlieka svarbų vaidmenį palaikant švarią ir stabilią nusodinimo aplinką, sumažindamas užterštumą ir užtikrindamas nuoseklų plazmos elgesį.

„Vetek Semiconductor“ siūlo tiksliai sukonstruotas kvarcines dalis su griežta medžiagų kontrole ir matmenų tikslumu, siūlydami patikimas alternatyvas puslaidininkių gaminiams ir įrangos paslaugų teikėjams.

Pagrindinės specifikacijos:

Proceso paraiška ir kolegijos pozicija

Šis kvarcinis dangtelis yra specialiai sukurtas PVD purškimo procesams, plačiai naudojamas puslaidininkių gamyboje metalo plonų plėvelių, tokių kaip aliuminis (Al), titanas (Ti) ir varis (Cu), nusodinimui.

Kameros padėtis

Komponentas montuojamas viršutinėje PVD kameros dalyje, paprastai vadinamoje viršutinio dangčio sritimi, kur jį veikia:

● Plazmos iškrovos zonos

● Proceso dujų srauto keliai

● Metalo dalelių nusodinimo aplinka

Funkcinis vaidmuo kameroje

Kameros konstrukcijoje Cover Top Quartz tarnauja kaip nemetalinis apsauginis barjeras ir izoliacinis elementas, esantis virš plokštelės ir šalia tikslinės srities.

Jo išdėstymas yra labai svarbus:

● Jautrių kameros komponentų ekranavimas nuo metalo nusėdimo

● Elektros izoliacijos palaikymas RF plazminėje aplinkoje

● Palaiko stabilias ir pasikartojančias proceso sąlygas

Pagrindinės funkcijos ir našumo pranašumai

1) Užteršimo kontrolė

PVD procesų metu purškiami metalo atomai linkę nusodinti ne tik ant plokštelių, bet ir ant vidinių kameros paviršių.

Šis kvarcinis dangtelis:

● Veikia kaip aukojamas apsauginis sluoksnis

● Neleidžia susikaupti metalui ant svarbių kamerų konstrukcijų

● Sumažina dalelių susidarymą ir kryžminį užteršimą

Rezultatas: geresnė vaflių išeiga ir proceso švara

2) Plazmos stabilumas ir elektros izoliacija

Dėl puikių dielektrinių savybių didelio grynumo kvarcas užtikrina:

● Stabilus RF lauko pasiskirstymas

● Sumažėjusi elektros trikdžių rizika

● Pastovus plazmos tankis per proceso ciklus

Rezultatas: pagerintas plėvelės vienodumas ir pakartojamumas

3) Aukščiausias medžiagos grynumas

Vetek Semiconductor naudoja itin didelio grynumo kvarco medžiagas, kad sumažintų priemaišų patekimą.

● Mažas metalo užterštumas

● Minimalus dujų išsiskyrimas vakuumo sąlygomis

● Tinka pažangiems puslaidininkiniams mazgams

Rezultatas: Atitinka griežtus fab lygio švaros standartus

4) Puikus plazminis ir šiluminis atsparumas

Komponentas sukurtas taip, kad atlaikytų:

● Plazmos erozija ir jonų bombardavimas

● Pakartotinis terminis ciklas

Rezultatas: ilgesnis tarnavimo laikas ir mažesnis priežiūros dažnumas

5) Ekonomiškas vartojimo reikmenų dizainas

Kaip keičiamos kameros vartojimo medžiaga, ši dalis:

● Apsaugo brangią kameros įrangą

● Supaprastina priežiūros ciklus

● Sumažina bendrąsias nuosavybės išlaidas (TCO)

Kodėl verta rinktis „Vetek Semiconductor“?

„Vetek Semiconductor“ sujungiame medžiagų mokslo žinias su puslaidininkių proceso supratimu, kad pateiktume aukštos kokybės kvarco komponentus.

Mūsų privalumai:

● Tikslus apdirbimas su nedideliais nuokrypiais

● Griežtas žaliavų pasirinkimas ir atsekamumas

● Įrodytas suderinamumas su AMAT Endura platformomis

● Stabilus tiekimas pasauliniams puslaidininkių klientams

● Inžinerinis tinkinimo ir optimizavimo palaikymas