Cvd sic blynų jautrintuvas

IT puslaidininkis CVD SIC blynų jautrumas yra pagamintas naudojant naujausią cheminio garų nusėdimo (CVD) technologiją, kad būtų užtikrintas puikus ilgaamžiškumas ir ekstremalus temperatūros pritaikymas. Toliau pateikiamos pagrindinės jo fizinės savybės:

● Šiluminis stabilumas: Aukštas CVD SIC šiluminis stabilumas užtikrina stabilų našumą aukštos temperatūros sąlygomis.

● Žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas: Medžiaga turi ypač žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą, kuris sumažina deformaciją ir deformaciją, kurią sukelia temperatūros pokyčiai.

● Cheminės korozijos atsparumas: Puikus cheminis pasipriešinimas leidžia išlaikyti aukštą našumą įvairiose atšiauriose aplinkose.

Tikslus palaikymas ir optimizuotas šilumos perdavimas

„Veteksemi“ blynų jautrumo pagrindu pagamintas „SiC“ dengtas yra suprojektuotas taip, kad tilptų puslaidininkių plokštelės ir užtikrintų puikų palaikymą epitaksinio nusėdimo metu. SIC blynų jautrininkas yra suprojektuotas naudojant pažangią skaičiavimo modeliavimo technologiją, kad būtų sumažintas deformacijos ir deformacijos skirtingomis temperatūros ir slėgio sąlygomis. Jo tipinis šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra apie 4,0 × 10^-6/° C, tai reiškia, kad jo matmenų stabilumas yra žymiai geresnis nei tradicinės medžiagos aukštos temperatūros aplinkoje, tokiu būdu užtikrinant vaflių storio konsistenciją (paprastai nuo 200 mm iki 300 mm).

Be to, CVD blynų jautrininkas išsiskiria šilumos perdavimu, kai šilumos laidumas yra iki 120 W/m · k. Šis didelis šilumos laidumas gali greitai ir efektyviai atlikti šilumą, padidinti temperatūros vienodumą krosnyje, užtikrinti vienodą šilumos pasiskirstymą epitaksinio nusėdimo metu ir sumažinti nusėdimo defektus, kuriuos sukelia nelygus šiluma. Optimizuotas šilumos perdavimo efektyvumas yra labai svarbus gerinant nusodinimo kokybę, o tai gali efektyviai sumažinti proceso svyravimus ir pagerinti derlių.

Per šiuos dizaino ir našumo optimizavimus „Vetek Semiconductor“ CVD SIC blynų jautrininkas suteikia tvirtą pagrindą puslaidininkių gamybai, užtikrinant patikimumą ir nuoseklumą atšiauriomis apdorojimo sąlygomis ir patenkinti griežtus šiuolaikinės puslaidininkių pramonės reikalavimus, kad būtų galima tiksliai ir kokybei.

CVD SIC plėvelės kristalų struktūra

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės
Nuosavybė	Tipinė vertė
Kristalų struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 „Vickers“ kietumas （500 g apkrova）
Grūdų dydis	2 ~ 10 mm
Cheminis grynumas	99.9995%
Šilumos talpa	640 j · kg-1· K-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lenkimo jėga	415 MPA RT 4 taškų
Youngo modulis	430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300W · m-1· K-1
Šilumos išsiplėtimas (CTE)	4,5 × 10-6K-1