Aukšto grynumo kvarco tiglis

Didelio grynumo kvarco tiglis, kurį teikia „Veteksemicon“ platforma, yra pagaminti iš ypač aukšto grynumo sintetinio lydyto kvarco. Pasirinktų kvarco žaliavų SiO2 kiekis paprastai gali pasiekti 99,998% ar net didesnį (4N8). Per pažengusius lydymosi ir liejimo procesus priemaišų kiekis yra sumažintas, ypač metalo jonai (tokie kaip Na, K, Li, Fe, Al, Ca ir kt.) Ir hidroksilo kiekis, kenksmingas puslaidininkių procesams.

Šis kvarco tiglis yra skirtas veikti aukštos temperatūros aplinkoje, kad būtų užtikrintas mažas užterštumas, didelis stiprumas ir geras suderinamumas su kristalų augimu ir vaflių apdorojimu.

Ⅰ. Pagrindinės programos puslaidininkių gamybos procesuose

Aukšto grynumo kvarco tipai vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį daugelyje pagrindinių puslaidininkių gamybos procesų, turinčių unikalių fizinių savybių:

1. Vieno krištolo silicio augimas (Czochralski procesas - CZ)

Naudoti: Vieno kristalinio silicio augimo procese Czochralski metodu, didelio grynumo kvarco tipas yra pagrindiniai išlydyto silicio talpyklos. Silicio strypų kokybę ir grynumą tiesiogiai veikia tiglio medžiaga.

Puikios fizinės savybės:

● Itin didelis grynumas: pagamintas iš didelio grynumo kvarco medžiagos, jis užtikrina ypač mažus priemaišų kritulius ir išvengia vienkartinio kristalinio silicio užteršimo, kuris yra labai svarbus gaminant labai integruotus ir aukšto našumo puslaidininkių prietaisus. Priemaišos, tokios kaip šarminiai metalai ir sunkieji metalai, gali tapti nešiklio gaudyklėmis ar sklaidos centruose, rimtai paveikdami prietaiso elektrines savybes.

● Puikus atsparumas aukštai temperatūrai: kvarco medžiaga turi aukštą lydymosi tašką (apie 1700 ∘C), gali atlaikyti ypač aukštą išlydyto silicio temperatūrą (apie 1420 ∘C) ir ilgą laiką stabiliai veikti be deformacijos ar minkštinimo.

● Geras šiluminis stabilumas: esant aukštai temperatūrai, šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra ypač žemas, o tai gali efektyviai atsispirti šiluminiam įtempiui ir vengti įtrūkimų kaitinimo ir aušinimo metu, taip užtikrinant proceso stabilumą ir saugumą.

● Cheminis inertiškumas: Jis turi gerą cheminį inertiškumą išlydytam siliciui, nėra lengva reaguoti su siliciu, sumažina priemaišų įvedimą ir silicio karbonizaciją ir užtikrina silicio kristalų grynumą.

2. Polikristalinio silicio luitų liejimas

Paraiška: Polikristalinio silicio luitų liejimo procese didelio grynumo kvarco tipas yra naudojami kaip konteineriai išlydytam polikristaliniam siliciui, norint liejant fotoelektrinius ar elektroninio laipsnio polikristalinius silicio luitus.

Puikios fizinės savybės:

● Šiluminio smūgio atsparumas: jis gali išlaikyti konstrukcinį vientisumą net esant greitam kaitinimo ir aušinimo ciklams, kad išvengtų įtrūkimų, kuriuos sukelia staigūs temperatūros pokyčiai.

● Matmenų stabilumas: Tikslus matmenų kontrolė ir formos stabilumas yra būtini polikristalinių silicio luitų liejimui, atitinkančiam specifikacijos reikalavimus.

3. Kitos aukštos temperatūros programos

Naudojimas: Puslaidininkių gamyboje daugelis aukštos temperatūros krosnių vamzdžių procesų, tokių kaip difuzija, oksidacija, atkaitinimas ir kt., Dažnai naudoja kvarco konteinerius kaip pamušalus ar nešiklius, kad proceso aplinka būtų švari ir stabili.

Ⅱ. Veteksemikono aukšto grynumo kvarco tiglio pranašumai

„Veteksemicon“ yra įsipareigojusi tiekti aukštos kokybės, aukštos kokybės produktus puslaidininkių pramonei. Mūsų aukšto grynumo kvarco tipas turi šiuos pranašumus:

● Ypač aukšta grynumo garantija: Griežta žaliavų ir gamybos procesų kontrolė, siekiant užtikrinti, kad produktas pasiektų puslaidininkio lygio ypač aukšto grynumo ir sumažintų užteršimo proceso riziką.

● Puikus patvarumas: Puikus šiluminis stabilumas ir mechaninis stiprumas, produkto tarnavimo laikas ir gamybos išlaidų sumažinimas.

● Pritaikyta paslauga: Individualizuoti įvairių dydžių, formų ir specifikacijų tiglio sprendimai gali būti patenkinti atsižvelgiant į jūsų konkrečius proceso poreikius.

„Veteksemicon Products Warehouse“