Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainis

Puslaidininko laipsnio kvarco varpelio indelis yra pagamintas iš aukšto grynumo kvarco medžiagos. Jis turi puikų šiluminį stabilumą ir stiprų atsparumą korozijai, jis naudojamas daugelyje laukų. Puslaidininkių pramonėje: puslaidininkio laipsnio kvarco varpelio stiklainis suteikia kontroliuojamą aplinką plonam plėvelės nusėdimui ant vaflių cheminio garų nusėdimo metu (CVD). Puslaidininkių laipsnio kvarco varpelio indelis taip pat naudojamas procesuose, kuriems reikalinga vakuuminė technologija, pavyzdžiui, optinių dangų, metalinių dangų ir kitų rūšių plonų plėvelės medžiagų gamyba. Puslaidininko laipsnio kvarco varpelio indelis taip pat reikalingas daugelyje fizinių ir medžiagų mokslo eksperimentų, kuriems reikalingas didelis grynumas, vakuume užklijuota aplinka.

Puslaidininkių pramonės naudojimo scenarijai:

„Polysilicon“ yra silicio medžiaga, sudaryta iš daugybės mažų grūdų, plačiai naudojamų integruotose grandinėse, saulės elementuose ir kituose laukuose. Cheminis garų nusėdimas (CVD) yra vienas iš pagrindinių polikristalinio silicio paruošimo būdų. Pagrindinis principas yra tas, kad silicio šaltinio dujos, tokios kaip SIH4, yra suskaidomos aukštoje temperatūroje ir nusėda ant substrato, kad susidarytų polikristalinis silicis ：

SIHCL3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Aukštos temperatūros ir vakuumo sąlygomis silicio šaltinio dujos buvo tiekiamos į cheminį garų nusodinimą. Galiausiai gaunamas polikristalinis silicis. Puslaidininkinio lygio kvarcinis varpelis yra svarbi polikristalinio silicio CVD reaktoriaus dalis.

Polikristalinis silicio CVD reaktorius

Esant aukštos temperatūros CVD reakcijai, puslaidininkio laipsnio kvarco varpelio stiklainis gali suteikti vienodą šiluminę aplinką. Didelio grynumo kvarco medžiagos atsparumas aukštai temperatūrai (gali atlaikyti iki maždaug 1100 ° C temperatūrą) leidžia jai stabiliai veikti CVD reakcijose ir užtikrinti vienodą temperatūros pasiskirstymą reakcijos srityje. CVD procese yra daug toksiškų dujų komponentų, tokių kaip PH3 ir kt. Puslaidininkių laipsnio kvarco varpelio stiklainis gali efektyviai išskirti chemines dujas reakcijos kameroje iš išorinės aplinkos, kad būtų išvengta kenksmingo dujų nutekėjimo. Didelio grynumo kvarco medžiagos atsparumas korozijai taip pat leidžia kitoms medžiagoms ilgą laiką stabiliai veikti CVD proceso metu ir nėra lengvai korozija ar pažeista.

„Quartz Bell“ stiklainis naudojamas kartu su kvarco šilumos konservavimo vamzdeliu ir vertikalia kvartalo valtimi ir dažniausiai naudojamas epitaksiniame puslaidininkių integruotos grandinės mikroschemų gamyboje. Epitaksinė krosnis paprastai priima vertikalią struktūrą, o kvarco varpelio indelis yra vertikalios kvartalo valties išorėje ir kvarco šilumos išsaugojimo vamzdis kaip atrama.

Kitas tipiškas puslaidininkinio laipsnio kvarco varpelio stiklainis aukštos temperatūros aplinkoje: ortodontinių dalių partijai įkaitinkite iki 704 ℃ per 1 sekundę inertinėje atmosferoje, skirtoje litavimui ：

„VeTek Semiconductor“ turi brandžią techninę komandą. Nesvarbu, kokios formos ar medžiagos jums reikia didelio grynumo kvarcinio varpelio stiklainio, mes galime jį pritaikyti jums.

VeTek Semiconductor gaminių parduotuvės: