Silicio kasetinė valtis

Veteksemicon siūloma silicio kasetinė valtis yra sukurta taip, kad atitiktų griežtus šiuolaikinės puslaidininkinių plokštelių gamybos terminius, mechaninius ir užterštumo kontrolės reikalavimus. Pagaminta iš ypač didelio grynumo monokristalinio arba polisilicio ir apdorota pagal pramonėje pirmaujančius švaros standartus, Silicon Cassette Boat veikia kaip esminė plokštelių, kurioms vyksta oksidacija, difuzija, atkaitinimas ir kiti krosnyje pagrįsti terminiai ciklai, nešiklio sistema. Būdingos medžiagos savybės – cheminis inertiškumas aukštesnėje temperatūroje, suderintas šiluminis plėtimasis su silicio plokštelėmis ir itin maža metalinių priemaišų koncentracija – leidžia sumažinti dalelių susidarymą ir šiluminį įtempį, užtikrinant vienodumą ir pakartojamumą, būtiną submikronų ir pažangių mazgų gamybai.

Vertikaliose ir horizontaliose krosnies platformose „Silicon Cassette Boat“ užtikrina tikslų tarpą tarp plokštelių ir stabilią mechaninę atramą, leidžiančią nuoseklų šilumos perdavimą ir vienodą dujų srautą visoje partijoje. Pašalinus kryžmines medžiagų sąveikas, dažniausiai susijusias su kvarciniais arba keraminiais nešikliais, jis padeda apsaugoti plokštelių paviršius nuo užteršimo ilgai mirkant aukštoje temperatūroje, net ir esant 1200°C temperatūrai. Šis medžiagos išlygiavimas tarp laikiklio ir pagrindo taip pat sumažina slydimo linijas, mikro įtrūkimus ir deformaciją, todėl valtis yra ypač naudinga tokioms reikmėms kaip storio oksido augimas, įėjimo difuzija, aukštos temperatūros implantacijos atkaitinimas ir galios įrenginio epitaksinis apdorojimas.

Sukurtas sklandžiai integruotis su automatizuotomis pakrovimo sistemomis, FOUP į krosnį perkėlimo moduliais ir robotų plokštelių tvarkymu, Veteksemicon Silicon Cassette Boat palaiko tiek 200 mm, tiek 300 mm gamybos aplinką ir atitinka pažangiausių krosnių OEM specifikacijas. Didelis matmenų tikslumas, optimizuota plyšių geometrija ir pažangi paviršiaus apdaila prisideda prie aukščiausios temperatūros vienodumo, sumažinimo defektų ir ilgesnio eksploatavimo laiko – veiksniai, kurie tiesiogiai padidina proceso našumą ir įrangos veikimo laiką.

Remiantis Veteksemicon medžiagų mokslo patirtimi ir griežtu kokybės valdymu, „Silicon Cassette Boat“ užtikrina stabilų veikimą per kelis terminius ciklus, mažai dalelių ir nuspėjamą elgesį reikalaujančiose aukštos temperatūros atmosferose, tokiose kaip O2, H₂, N2 arba inertinių dujų mišiniai. Gaminiams, kuriems reikalinga geresnė užterštumo kontrolė, nuspėjami šiluminiai profiliai ir suderinamumas su naujos kartos įrenginių gamyba, Silicon Cassette Boat sustiprina proceso patikimumą, pagerina plokštelių lygio vienodumą ir leidžia nuosekliai gaminti didelės apimties puslaidininkius.