Plokščių laikiklis, skirtas VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Produkto savybės:

1. Labai grynas grafito pagrindas su tankiu CVD SiC sluoksniu
2. Geras terminis vienodumas stabiliai LED epitaksijai
3. Atlaiko NH₃, HCl ir kitas procese naudojamas ėsdinančias dujas
4. Mažas dalelių išsiskyrimas ir ilgas tarnavimo laikas
5. Kišeniniai dizainai gali būti pritaikyti skirtingiems plokštelių dydžiams ir reaktorių platformoms
6. Puikiai tinka ilgalaikiam, aukštos temperatūros MOCVD darbui

Programos:
Šie plokštelių laikikliai plačiai naudojami LED ir sudėtinių puslaidininkių epitaksijoje, įskaitant:

• GaN LED epitaksija
• Mėlynai žalia LED epitaksija
• Gilus UV LED augimas
• Si pagrindu sukurta GaN epitaksija
• Bendroji sudėtinių puslaidininkių gamyba

Individualūs laikiklio sprendimai tinka kelioms LED MOCVD platformoms, pavyzdžiui:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7 / Unimax

Techniniai pranašumai:

1. CVD SiC dangatechnologija, kuri suteikia jums gerą tankį ir grynumą
2. Dangos storio pokytis išlaikomas ±10 μm ribose – padeda išlaikyti stabilias šilumines charakteristikas
3. CNC apdirbimas iki 3 μm tikslumu užtikrina gerą plokštelių pritaikymą ir sukimosi stabilumą
4. Danga gerai prilimpa ir atspari įtrūkimams po pakartotinių aukštos temperatūros MOCVD ciklų
5. Be problemų susidoroja su NH₃, HCl ir kitomis atšiauriomis epitaksinėmis aplinkomis
6. Mažas dalelių susidarymas ir švarus paviršius, užtikrinantis didelį derliųLED epitaksija
7. Gali padengti didelius arba pasirinktinius dydžius skirtingoms reaktorių platformoms ir plokštelių išdėstymui
8. Ilgametė patirtis supagal užsakymą grafitu ir SiC dengtos dalysLED ir sudėtinių puslaidininkių epitaksijai

DUK:
1. Ką veikia plokštelių laikiklisMOCVDLED epitaksija?

A: Jis laiko ir sukasi plokšteles MOCVD reaktoriaus viduje ir padeda išlaikyti pastovią temperatūrą epitaksinio augimo metu.

2. Kodėl MOCVD naudoti SiC padengtus grafito plokštelių laikiklius?

A:CVD SiC dangaužtikrina didesnį atsparumą korozijai, terminį stabilumą ir ilgaamžiškumą. Tai taip pat padeda sumažinti dalelių užterštumą esant aukštai temperatūrai.

3. Ar „Vetek Semiconductor“ gamina specialius plokštelių laikiklius?
A: Taip. Galime sukurti pasirinktinius laikiklius pagal jūsų reaktoriaus platformą, plokštelės dydį, kišenės išdėstymą ir kitus proceso poreikius.