CVD SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas plokštelių nešikliui

1. Produkto privalumai

• Aukšto grynumo medžiaga:Puslaidininkinė grafito medžiaga ir tanki SiC dangos struktūra sumažina užteršimo riziką ir pagerina CVD SiC padengto grafito susceptoriaus patikimumą.
• Puikus terminis vienodumas:Optimizuota grafito struktūra ir SiC danga užtikrina stabilų šilumos perdavimą ir vienodą plokštelės temperatūros kontrolę.
• Puikus cheminis atsparumas:Tanki SiC danga pasižymi dideliu atsparumu proceso dujoms ir korozinei aplinkai.
• Ilgas tarnavimo laikas:Didelis kietumas ir atsparumas dilimui pagerina ilgaamžiškumą aukštos temperatūros epitaksijos sąlygomis.
• Mažas dalelių generavimas:Tankus CVD SiC paviršius sumažina dalelių išsiskyrimą ir pagerina plokštelių proceso patikimumą.
• Individualaus dizaino galimybės:Galimi įvairių dydžių, konstrukcijų ir konfigūracijų pagal įrangos reikalavimus.

2. Techninės specifikacijos

3. Paraiškos

• SiC epitaksijos procesas:Grafito susceptorius naudojamas kaip plokštelių nešiklis SiC epitaksijos įrangoje, palaikantis SiC substratus esant aukštai temperatūrai epitaksiniam augimui.
• Silicio epitaksijos procesas:Naudojamas silicio epitaksiniuose reaktoriuose plokštelėms palaikyti ir stabilioms šiluminėms sąlygoms palaikyti.
• MOCVD epitaksija:VETEK grafito susceptoriai tinka MOCVD, LED epitaksijai, GaN epitaksijai, silicio epitaksijai ir kitiems puslaidininkių gamybos procesams, kuriems reikalingas puikus terminis vienodumas ir cheminis stabilumas.
• Puslaidininkių gamybos įranga:Suderinamas su įvairiomis epitaksijos platformomis, įskaitant LPE horizontalias krosnis, Aixtron, NuFlare ir susijusią puslaidininkinę įrangą.

4. Kodėl verta rinktis VETEK?

VETEK teikia pritaikytus CVD SiC dengtus grafito susceptorių sprendimus, integruojančius grafito valymo, tikslaus apdirbimo, CVD dangos ir tikrinimo galimybes. Mūsų puslaidininkiniai grafito susceptorių gaminiai pasižymi dideliu grynumu, vienodu dangos storiu, puikiomis šiluminėmis charakteristikomis ir ilgu tarnavimo laiku, kai reikia naudoti plokštelinius laikiklius.