EPI rėmėjas

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus lyderis „China Epi“, „Ald Planetary Tugor“ ir „TAC“ padengtas grafito palaikymo gamintojas. ir Mūsų EPI palaikymas yra svarbus komponentasepitaksinis augimasPuslaidininkių gamybos procese. Pagrindinė jo funkcija yra palaikyti ir pašildyti vaflį, kad aukštos kokybės epitaksinis sluoksnis būtų vienodai auginamas vaflio paviršiuje.

„Vetek“ puslaidininkių EPI jautrieji paprastai yra pagaminti iš aukšto grynumo grafito ir padengti silicio karbido (sic) sluoksniu.Šis dizainas turi šiuos pagrindinius pranašumus:

● Aukštos temperatūros stabilumas: EPI jautrininkas gali išlikti stabilus aukštos temperatūros aplinkoje, užtikrindamas vienodą epitaksinio sluoksnio augimą.

● Atsparumas korozijai: SIC danga turi puikų atsparumą korozijai ir gali atsispirti cheminių dujų erozijai, prailgindama dėklo tarnavimo laiką.

● Šilumos laidumas: Aukštas SIC medžiagos šilumos laidumas užtikrina vienodą vaflio temperatūros pasiskirstymą kaitinant, taip pagerinant epitaksinio sluoksnio kokybę.

● Šilumos išplėtimo koeficiento atitikimas: SIC šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra panašus į grafito, išvengiant dengimo praliejimo problemos dėl šiluminio išsiplėtimo ir susitraukimo.

Pagrindinės fizinės savybėsCVD SIC danga:

CVD SIC dangos gamybos parduotuvė:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: