Aukšto grynumo nepermatomas kvarcinis skydas ir užraktas, skirtas MOCVD

1. Techninės specifikacijos

Mes teikiame didelio tikslumo apdirbimą, pagrįstą jūsų techniniais brėžiniais, kad būtų užtikrintas tobulas atitikimas jūsų specifiniams įrangos modeliams.

2. Pagrindinės taikymo sritys

● MOCVD proceso apsauga: tarnauja kaip esminiai vidiniai skydai / įdėklai, apsaugantys reakcijos aplinką.

● Puslaidininkinė epitaksija: Naudojamos kaip didelio tikslumo langinės srautui ir temperatūrai stabilizuoti plonos plėvelės augimo metu.

● Plataus diapazono puslaidininkių gamyba: Suderinamas su didelės paklausos aplinkomis GaN ir kitoms pažangioms medžiagoms.

3. Kodėl verta rinktis VETEK Quartz Solutions?

● Aukščiausias šiluminės spinduliuotės valdymas: Mūsų pieno baltumo kvarce yra didelio tankio mikro burbuliukų, kurie efektyviai išsklaido ir blokuoja aukštos temperatūros šiluminę spinduliuotę (>1000°C). Jis sugeria matomą ir artimą infraraudonąją spinduliuotę iš kaitinimo elementų ir paverčia ją tolimosios infraraudonosios spinduliuotės spinduliuote, užtikrindamas labai tolygų šildymą.
● Užteršimo kontrolė ir lengva priežiūra: Kvarcinis skydas, kaip aukojamas arba keičiamas vidinis įdėklas, palaiko reakcijos kamerą švarią, užkertant kelią šalutinių produktų nusėdimui ant brangių kameros sienelių ir šildytuvų. Šios dalys gali būti regeneruojamos šlapio valymo būdu (pvz., SPM+DHF tirpalai) arba lengvai keičiamos, kad būtų užtikrinta didelė plokštelių išeiga.
● Ypatingas cheminis atsparumas: VETEK kvarcas sukurtas taip, kad atlaikytų dažną šiluminį ciklą ir atsparų metalo organinių medžiagų (pvz., TMGa) ir hidridų (pvz., AsH₃) korozijai.
● Tikslus proceso valdymas: Mūsų kvarcinės žaliuzės palaiko aukštą matmenų stabilumą infraraudonųjų spindulių arba kaitinant siūlais. Maža jų šiluminė inercija užtikrina greitą mechaninį atsaką, leidžia tiksliai kontroliuoti „atominio lygio“ augimą ir užkirsti kelią kryžminiam užteršimui perjungiant kelis plokšteles arba kelis procesus.
● Ekonomiškai efektyvi alternatyva: Projektams, kuriems taikomi griežti biudžeto reikalavimai, mūsų kvarciniai gaminiai yra patikimas įėjimo taškas, palyginti su padengtu grafitu, o tai užtikrina esminę MOCVD sistemų apsaugą ir funkcionalumą.