Aukšto grynumo kvarcinių plokštelių laikiklis

1. Pagrindinės savybės ir pranašumai

• Itin didelio grynumo dehidroksilintas lydytas kvarcas (SiO₂ ≥ 99,999%) su metalų priemaišomis, kontroliuojamomis ppb lygiu – sumažina plokštelių užterštumą

• Ilgalaikė darbo temperatūra iki 1100 °C; trumpalaikis didžiausias atsparumas iki 1200 °C

• Puikus atsparumas šiluminiam smūgiui ir matmenų stabilumas dažnai keičiant temperatūrą

• Stiprus cheminis inertiškumas prieš oksiduojančias proceso dujas ir įprastas šlapiojo proceso chemines medžiagas (HF, H2O2, rūgštis / šarmus)

• Didelis plokštumas ir tiksliai šlifuotas paviršius su užapvalintais kraštais, kad būtų vienodai palaikoma plokštelė ir sumažintas krašto pažeidimas

• Mažas vakuuminis dujų išsiskyrimas ir žema paviršiaus adsorbcija – tinka tiksliam vakuuminiam procesui

• Visiškai pritaikomos konstrukcijos: tvirti laikikliai, perforuotos / ventiliuojamos konstrukcijos, pakopinės vietos nustatymo funkcijos, padėties nustatymo skylės, kelių taškų atramos ir sutirštintos antideformacijos konstrukcijos 2–12 colių plokštelėms

2. Tipinės programos

Šie laikikliai naudojami visur, kur plokštelėms reikalinga švari, stabili atrama esant aukštai temperatūrai arba agresyviai chemijai:

• Difuzijos ir atkaitinimo krosnies pakrovimas

• PECVD ir LPCVD plėvelės augimo proceso palaikymas

• Vakuuminė kamera ir aukštos temperatūros proceso įrankiai

• Džiovinimo po ėsdinimo ir šlapio valymo stoties laikikliai

• SiC ir GaN galios įrenginių terminis apdorojimas

• Optoelektroninių substratų tvarkymo ir laboratoriniai terminiai įrankiai

3. Pagrindiniai techniniai parametrai

• Pagrindinė medžiaga: puslaidininkinis dehidroksilintas lydytas kvarcas, SiO₂ ≥ 99,999 %

• Suderinami plokštelių dydžiai: 2, 4, 6, 8 ir 12 colių (Si, SiC, GaN, safyras)

• Rekomenduojamas nuolatinės temperatūros diapazonas: –20 °C iki 1100 °C; trumpalaikis pikas iki maždaug 1200 °C

• Gamybos būdas: vientisas formavimas, tikslus paviršiaus šlifavimas, kraštų apvalinimas, įtempių mažinimo atkaitinimas ir itin švarus galutinis valymas

• Galimos konfigūracijos: vientisa, ventiliuojama / perforuota, pakopinė vieta, skylių raštas ir visiškai pritaikytos geometrijos

• Veikimo dėmesys: didelis grynumas, terminis stabilumas, atsparumas korozijai, paviršiaus lygumas, mažas dujų išsiskyrimas ir ilgalaikis matmenų išlaikymas

• Tinkinimo apimtis: išoriniai matmenys, storis, atramos geometrija, skylių išdėstymas ir specialios funkcijos pagal kliento brėžinius

4. Kodėl verta rinktis „VeTek“ didelio grynumo kvarcinių plokštelių laikiklius?

Kaip profesionalus puslaidininkinių kvarco komponentų gamintojas, VeTek Semiconductor siūlo:

• Didelio grynumo kvarcinių plokštelių laikikliai, sukurti šiluminiam, vakuuminiam ir šlapiam procesui

• Griežta grynumo, paviršiaus lygumo ir švarumo kontrolė, tinkama pažangiajai puslaidininkių gamybai

• Visiškas pritaikymas ir su OEM suderinami dizainai krosnies, kameros ir proceso stoties įrankiams

• Papildomi puslaidininkiniai kvarco gaminiai, įskaitant krosnių vamzdžius, plokšteles, tiglius ir kitus proceso komponentus

Mūsų didelio grynumo kvarcinių plokštelių laikikliai padeda išlaikyti vienodą šiluminį kontaktą, sumažina dalelių ir metalo užterštumą ir pailgina įrankio tarnavimo laiką nuolat aukštoje temperatūroje ir korozijos sąlygomis – taip palaikoma didesnė išeiga ir mažesnės puslaidininkių gamybos sąnaudos.