žinios

Fab gamykloje yra daugybė matavimo įrangos rūšių. Bendroji įranga apima litografijos proceso matavimo įrangą, ėsdinimo proceso matavimo įrangą, plonos plėvelės nusodinimo proceso matavimo įrangą, dopingo proceso matavimo įrangą, CMP proceso matavimo įrangą, vaflių dalelių aptikimo įrangą ir kitą matavimo įrangą.

Tantalo karbido (TaC) danga gali žymiai pailginti grafito dalių tarnavimo laiką, pagerindama atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą korozijai, mechanines savybes ir šilumos valdymo galimybes. Jo didelio grynumo charakteristikos sumažina priemaišų užterštumą, pagerina kristalų augimo kokybę ir padidina energijos vartojimo efektyvumą. Jis tinka puslaidininkių gamybai ir kristalų auginimui aukštos temperatūros, labai korozinėje aplinkoje.

Tantalum karbido (TAC) dangos yra plačiai naudojamos puslaidininkių lauke, daugiausia epitaksiniams augimo reaktorių komponentams, vieno kristalų augimo raktų komponentams, aukštos temperatūros pramoniniams komponentams, MOCVD sistemos šildytuvams ir vaflių nešikliams. Puikus aukštos temperatūros atsparumo ir korozijos atsparumas gali pagerinti įrangos duurumą, derlingumo ir kokybės kokybę, mažinti energijos vartojimą ir gerinimą.

SiC epitaksinio augimo proceso metu gali įvykti SIC padengtas grafito suspensijos gedimas. Straipsnyje atliekama griežta SIC dengto grafito suspensijos gedimo reiškinio analizė, kurioje daugiausia įeina du veiksniai: SiC epitaksinis dujų gedimas ir SiC dangos gedimas.