Išankstinė keramika

Aukštos temperatūros ir chemiškai reaktyvi MOCVD aplinka, reakcijos kameros apsauga ir proceso valdymo tikslumas yra itin svarbūs. VETEK siūlo aukščiausios kokybės nepermatomo (pieno baltumo) kvarco komponentus, specialiai sukurtus veikti kaip „švarios patalpos“ ir „tikslumo vartai“ jūsų puslaidininkinėje įrangoje. Šie komponentai yra ekonomiškas, tačiau efektyvus sprendimas, skirtas valdyti šiluminę spinduliuotę ir užkirsti kelią užteršimui.

AMAT Cover Top Quartz 8" PCII (0200-00218) yra didelio grynumo kvarcinis komponentas, skirtas Applied Materials Endura PVD kameroms, užtikrinantis puikią užterštumo kontrolę, plazmos stabilumą ir ilgesnį tarnavimo laiką. Sukurtas 200 mm puslaidininkių procesams, jis yra svarbus proceso elementas, padedantis apsaugoti ir izoliuoti kameros viršutinę dalį. „Semiconductor“ siūlo tiksliai pagamintas, su OEM suderinamas kvarco dalis, pasižyminčias patikimu našumu ir pasauliniu tiekimu.

Mes, VETEK, suprantame, kad kvarcinė valtis yra daugiau nei vien eksploatacinės medžiagos – tai didelio tikslumo komponentas, labai svarbus galutiniam fotovoltinių procesų derliui. VETEK fotovoltinės kvarcinės valtys yra sukurtos specialiai TOPCon, PERC ir didelio našumo monokristalinių / polikristalinių elementų gamybos linijoms, užtikrinančioms išskirtinį patikimumą difuzijos, oksidacijos ir atkaitinimo etapuose.

Veteksemicon puslaidininkiniai kvarciniai tigliai yra pagrindinės eksploatacinės medžiagos Czochralski monokristalų augimo procese. Mūsų pagrindinis tikslas yra ypatingas grynumas ir puikus terminis stabilumas, todėl esame įsipareigoję klientams teikti aukštos kokybės produktus, pasižyminčius stabiliu veikimu ir puikiu atsparumu kristalizacijai esant aukštai temperatūrai ir aukštam slėgiui. Tai užtikrina krištolinių strypų kokybę iš šaltinio, o tai padeda puslaidininkinių silicio plokštelių gamybai pasiekti didesnį derlių ir didesnį ekonomiškumą.

„Veteksemicon SiC“ keramikinis vakuuminis griebtuvas, skirtas plokštelėms, yra sukurtas taip, kad užtikrintų išskirtinį puslaidininkinių plokštelių apdorojimo tikslumą ir patikimumą. Pagaminta iš didelio grynumo silicio karbido, užtikrina puikų šilumos laidumą, cheminį atsparumą ir puikų mechaninį stiprumą, todėl idealiai tinka sudėtingoms reikmėms, tokioms kaip ėsdinimas, nusodinimas ir litografija. Itin plokščias paviršius garantuoja stabilų plokštelės atramą, sumažina defektus ir pagerina proceso našumą. šis vakuuminis griebtuvas yra patikimas pasirinkimas norint tvarkyti labai našias plokšteles.

Svarbiuose plokštelių valymo, ėsdinimo ir šlapiojo ėsdinimo etapuose didelio grynumo kvarcinė vonia yra daugiau nei tik talpykla; tai pirmoji gynybos linija siekiant proceso sėkmės. Metalo jonų užterštumas, terminio smūgio įtrūkimai, cheminis poveikis ir dalelių likučiai yra paslėptos derliaus svyravimų priežastys. Veteksemi yra giliai įsišaknijęs puslaidininkiniame kvarcyje. Kiekviena mūsų gaminama kvarcinė vonia yra sukurta siekiant užtikrinti bekompromisį patikimumą ir švarą jūsų pažangiausiuose procesuose.