Tantalo karbido dangos atrama

Pagrindinė „Vetek“ puslaidininkio funkcijaTantalo karbido (TAC) dangaParama yra pagerintiŠilumos atsparumas, atsparumas susidėvėjimui ir atsparumas korozijaisubstrato, padengdamas tantalum karbido dangos sluoksnį, kad būtų pagerintas proceso tikslumas ir patikimumas bei prailginti komponentų tarnavimo laiką. Tai yra aukštos kokybės dangos produktas, naudojamas puslaidininkių apdorojimo srityje.

„Vetek Semiconductor“ tantalo karbido dangos rėmo rėmo „Mohs“ kietumas yra beveik 9 ~ 10, antras - tik deimantui. Jis turi ypač stiprų atsparumą dilimui ir gali efektyviai atsispirti paviršiaus susidėvėjimui ir poveikiui perdirbimo metu, taip efektyviai prailgindamas įrangos komponentų aptarnavimo tarnavimo laiką. Kartu su aukštu lydymosi tašku, esančiu apie 3880 ° C, jis dažnai naudojamas puslaidininkių įrangos pagrindiniams komponentams padengti, pavyzdžiui, atraminių konstrukcijų paviršiaus dangos, šilumos apdorojimo įranga, kameros ar tarpinės puslaidininkių įrangoje, kad padidintų jo atsparumą susidėvėjimui ir aukštai temperatūrai.

Dėl ypač aukšto tantalum karbido lydymosi taško, esančio maždaug 3880 ° C, puslaidininkių apdorojimo procesuose, tokiuose kaipCheminis garų nusėdimas (CVD)irFizinis garų nusėdimas (PVD), TAC danga su stipriu atsparumu aukštai temperatūrai ir cheminė atsparumas korozijai gali efektyviai apsaugoti įrangos komponentus ir užkirsti kelią korozijai ar substrato pažeidimui ekstremalioje aplinkoje, užtikrinant veiksmingą aukštos temperatūros aplinkos apsaugą vaflių gamyboje. Ši savybė taip pat nustato, kad „Vetek“ puslaidininkio tantalum karbido dangos atrama dažnai naudojama ėsdinant ir ėsdinant procesus.

„Tantalum“ karbido dangos atrama taip pat turi funkciją sumažinti dalelių užteršimą. Vaflinių apdorojimo metu paviršiaus nusidėvėjimas paprastai sukelia kietųjų dalelių užteršimą, o tai daro įtaką vaflinio produkto kokybei. „TAC CATION“ Ekstremalios produkto charakteristikos-beveik 9–10 Mohs kietumo gali efektyviai sumažinti šį susidėvėjimą, taip sumažinant dalelių generavimą. Kartu su puikiu „TAC Doating“ šilumos laidumu (apie 21 W/m · k) jis gali išlaikyti gerą šilumos laidumą aukštos temperatūros sąlygomis, taip labai pagerindamas vaflių gamybos išeigą ir konsistenciją.

Pagrindiniai „Vetek Semiconductor“ TAC dangos gaminiai yraTAC dangos šildytuvas, CVD TAC dangos tiglis, TAC dangos pasukimo jauttuvasirTAC dangos atsarginė dalisir tt, ir palaikykite pritaikytas produktų paslaugas. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs pateikti puikius produktus ir techninius sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Tantalo karbido (TAC) dengimas ant mikroskopinio skerspjūvio:

Pagrindinės fizinės CVD TAC dangos savybės：