VEECO MOCVD šildytuvas

VeTeksemi VEECO MOCVD šildytuvas yra pagamintas iš didelio grynumo grafito medžiagos, kurios priemaišų kiekis griežtai kontroliuojamas mažesnis nei 5 ppm, ir padengtas itin didelio grynumo silicio karbidu (SiC), kurio grynumas yra didesnis nei 99,99995 %.cheminio nusodinimo garais (CVD) procesas. Šis medžiagų derinys suteikia šildytuvui keletą pagrindinių savybių, kurios užtikrina puikų jo veikimąMetalo organinių cheminių garų nusėdimas (MOCVD)procesas.

Vienas iš išskirtinių „Veeco Mocvd“ šildytuvo savybių yra nepaprastas cheminis grynumas. Didelio grynumo grafito šerdis labai sumažina galimą teršalų įvedimą aukštos temperatūros procese, užtikrinant ypač švarų plėvelės nusėdimo procesą.CVD SiC dangaSuteikia papildomą šildytuvo apsaugą, sudarydamas stiprią barjerą, kad būtų išvengta cheminių reakcijų, kurios gali pakenkti plėvelės kokybei. Šis neprilygstamas grynumas yra būtinas gaminant aukštos kokybės, patikimus puslaidininkinius prietaisus.

Tuo pat metu šildytuvas pasižymi ypač dideliu šiluminiu stabilumu ir efektyvumu. SIC turi aukštą lydymosi tašką ir puikų šilumos laidumą, leidžiantį šildytuvui efektyviai valdyti ir atlikti šilumą. Tai užtikrina vienodą šildymą per substratą, o tai savo ruožtu padeda pasiekti vienodą plėvelės nusėdimą ir sumažinti šiluminių gradientų sukeltus defektus. Toks šiluminis efektyvumas yra ypač svarbus tikslumo gamybai.

„Veeco MOCVD“ šildytuvas taip pat pasižymi elektros veikimu. Jo aukšto grynumo grafito šerdis turi puikų elektrinį laidumą, leidžiančią šildytuvui patenkinti didelius elektros apkrovos reikalavimus. Šis stabilus elektrinis našumas leidžia šildytuvui išlaikyti tikslią temperatūros valdymą ir nusodinimo greitį esant didelėms apkrovos sąlygoms, o tai yra labai svarbu užtikrinti nuoseklias proceso sąlygas ir pagerinti puslaidininkių gamybos efektyvumą.

Šildytuvo paviršiaus konstrukcija buvo kruopščiai optimizuota, kad būtų aukšta substrato spinduliuotė, o tai žymiai pagerina spinduliuotės šilumos perdavimo efektyvumą. Gebėjimas tolygiai šildyti yra pagrindinis veiksnys, užtikrinantis pastovų plėvelės nusodinimo storį ir charakteristikas. Didelės spinduliuotės paviršiaus konstrukcija taip pat pagerina bendrą šildytuvo šiluminį efektyvumą, taip sumažindama energijos sąnaudas ir eksploatavimo išlaidas.

Kalbant apie ilgaamžiškumą, VeTeksemi VEECO MOCVD šildytuvas pasižymi puikiu atsparumu korozijai, atsparumu oksidacijai ir mechaniniam stiprumui. CVD SiC danga suteikia tvirtą barjerą korozinėms dujoms ir cheminėms medžiagoms, įprastoms MOCVD procesuose, taip prailgindama įrangos eksploatavimo laiką ir sumažindama priežiūros poreikius bei pakeitimo išlaidas. Jo atsparumas oksidacijai užtikrina, kad šildytuvas išliks stabilus esant aukštai temperatūrai, nepablogindamas jo veikimo, užtikrindamas ilgalaikį stabilumą.

Be to, didelis „Veteksemi“ MOCVD šildytuvo mechaninis stiprumas leidžia atlaikyti fizinius įtempius, susidarančius šiluminio dviračių ir substrato valdymo metu. Jos tvirtumas sumažina mechaninio gedimo riziką ir užtikrina patikimą įrangos veikimą atšiauriomis proceso sąlygomis.

VeTeksemi, kaip pažangus VEECO MOCVD šildytuvų gaminių gamintojas ir tiekėjas, taip pat tiekia įvairius aukštos kokybės šildytuvų gaminius, tokius kaipTAC dangos šildytuvas, Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas, Silicio karbido keraminis dangair tt „Vetek“ puslaidininkis yra įsipareigojęs pateikti pažangias ir pritaikomas technologijų ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.