SiC Keraminis vakuuminis griebtuvas vafliui

Mano varžovas sic keramikinis vakuuminis griebtuvas, skirtas plokštelėms, yra pagrindinis komponentas, sukurtas specialiai trečios kartos puslaidininkių gamybai, optimizuotas aukštos temperatūros ir aukšto slėgio apdorojimo aplinkoms, kurias patiria plokštelės. Pagaminti iš didelio grynumo keraminių medžiagų, preciziškas apdirbimas ir specializuotas paviršiaus apdorojimas užtikrina stabilų vakuumo išlaikymą ir puikų šiluminį stabilumą sudėtingame puslaidininkių gamybos procese. Mūsų vakuuminius griebtuvus išbandė šimtai puslaidininkių gamintojų, demonstruodami puikų našumą svarbiuose procesuose, tokiuose kaip SiC epitaksija, fotolijonų implantavimas. Jie veiksmingai sprendžia plokštelių deformacijos ir padėties nustatymo tikslumo problemas, kurias sukelia didelis medžiagos kietumas ir aukšta proceso temperatūra.

Bendra informacija apie gaminį

Produkto verslo sąlygos

Taikymas: Veteksemicon keramikinis vakuuminis griebtuvas vafliui yra pagamintas iš aukštos kokybės keraminių medžiagų ir tiksliai apdirbtas, kad būtų užtikrintas itin plokščias paviršius ir puikus terminis stabilumas. Tai suteikia patikimus plokštelių adsorbcijos ir temperatūros kontrolės sprendimus tokiems procesams kaip epitaksinis augimas, jonų implantacija ir fotolitografija, efektyviai pagerindami proceso derlių ir gamybos efektyvumą.

Paslaugos, kurias galima teikti: klientų pritaikymo scenarijų analizė, medžiagų derinimas, techninių problemų sprendimas.

Įmonės profilis：Veteksemicon turi 2 laboratorijas, ekspertų komandą, turinčią 20 metų medžiagų patirtį, turinčią MTEP ir gamybos, testavimo ir tikrinimo galimybes.

Mano varžovas keramikinis vakuuminis griebtuvas su plokštelių šerdies pranašumais

 ● Medžiagų mokslo proveržis

Mano varžovas naudoja unikalią medžiagų formulę ir sukepinimo procesą, kad žymiai padidintų savo gaminių mechaninį stiprumą ir terminį stabilumą, kartu išlaikant puikias keraminių medžiagų izoliacines savybes. Mūsų aliuminio oksido pagrindu pagamintoje keramikoje naudojamos labai grynos žaliavos ir speciali priedų formulė, užtikrinanti puikų matmenų stabilumą net esant aukštai temperatūrai. Mūsų silicio karbido keramika optimizuoto sukepinimo proceso dėka pasiekia didesnį šilumos laidumą ir pagerina šiluminę atitiktį, todėl ji ypač tinka aukštos temperatūros SiC plokštelių apdorojimui.

 ● Puikus šilumos valdymo efektyvumas

Mūsų unikalus daugiasluoksnis dizainas ir tikslus apdirbimas užtikrina, kad griebtuvas išlaikytų puikų šiluminį vienodumą net ir esant aukštai temperatūrai. Silicio karbido griebtuvo šilumos laidumas viršija 200 W/m·K, todėl galima greitai subalansuoti temperatūrą ir palaikyti plokštelės paviršiaus temperatūros svyravimus ±0,8°C. Ši puiki šilumos valdymo galimybė veiksmingai išvengia proceso defektų, atsirandančių dėl temperatūros pokyčių, ir žymiai pagerina produkto išeigą.

● Itin tiksli apdirbimo technologija

Mano varžovas gali pasigirti pirmaujančiais precizinio apdirbimo centrais Kinijoje, naudojant unikalius šlifavimo ir poliravimo procesus, kad būtų pasiektas submikroninis paviršiaus lygumas. Mūsų silicio karbido griebtuvai pasiekia paviršiaus lygumą per 0,8 μm, o paviršiaus šiurkštumo Ra vertė ne didesnė kaip 0,1 μm. Ši itin tiksli paviršiaus kokybė užtikrina puikų prigludimą tarp plokštelės ir griebtuvo, suteikdama patikimą plokščią atskaitos tašką tiksliems procesams, pvz., fotolitografijai.

● Ilgesnis tarnavimo laikas

Dėl optimizuotų medžiagų sudėties ir sustiprintos konstrukcijos mūsų gaminių tarnavimo laikas viršija 40 %, palyginti su tradiciniais gaminiais. Specialios kraštų sutvirtinimo ir paviršiaus dengimo technologijos leidžia mūsų gaminiams atlaikyti dažnas suspaudimo ir valymo operacijas. Garantuojama, kad aliuminio oksido pagrindu pagaminti gaminiai veiks daugiau nei 200 000 kartų, o silicio karbido gaminiai gali pasiekti daugiau nei 500 000 ciklų, todėl mūsų klientų eksploatacinės išlaidos žymiai sumažinamos.

● Ekologinės grandinės patikros patvirtinimas

Mano varžovas keramikinis vakuuminis griebtuvas, skirtas vaflių ekologinės grandinės tikrinimui, apima žaliavas iki gamybos, yra išlaikęs tarptautinį standarto sertifikatą ir turi daugybę patentuotų technologijų, užtikrinančių jo patikimumą ir tvarumą puslaidininkių ir naujose energijos srityse.

Išsamias technines specifikacijas, baltąsias knygas arba bandymų pavyzdžius rasitesusisiekite su mūsų techninės pagalbos komandaištirti, kaip Veteksemicon gali padidinti jūsų proceso efektyvumą.